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半導體行業

石墨坩堝專用自動超聲波清洗機

清洗對象:石墨鉗鍋


1.   設備型號:石墨鉗鍋自動超聲波清洗機

2.   設備型號:FWA-380TGF


3.   清洗對象:石墨鉗鍋,規格為Φ250×300mm,重量5KG/PCS

4.   清洗工藝:

序號

工序方法

清洗方式

清洗時間

介質

使用溫度

加熱

過濾

附槽

進排水

1

滾道進料

2

清洗一

鼓泡+超聲波+循環

10-15min

溢流純水

RT-40

6KW

10μ

手動閥

3

清洗二

鼓泡+超聲波+循環

10-15min

溢流純水

RT-40

6KW

5μ

手動閥

4

熱風烘干

循環熱風

10-15mi

熱風

RT-100

6KW

5

滾道出料

注:A、上料→超聲波清洗(一槽)→超聲波清洗(二槽)→熱風烘干→下料

B、各清洗工位可通過在觸膜屏上的將工藝時間設置為“0”進行跳過,實現清洗工序多種組合。

C、清洗能力:

清洗籃規格:(L×W×H)360×580×430。可裝載Φ250×300mm規格石墨鉗鍋2片,清洗節拍時間為10-15min/籃,具體節拍時間由用戶按實際生產需要設定。

5. 設備結構組成

5.1 結構組成:

5.1.1 二個添加純水的的超聲波循清洗槽

5.1.2一個循環熱風烘干槽。

5.1.3 上下料滾道

5.1.4  該清洗系統的工裝籃PLC全自動起吊及傳送系統

該裝置由伺服單臂機械手通過PLC編程控制橫向電機輸送機構和縱向升降電機輸送機構進行工件的清洗及傳送。

5.1.5  一個電氣控制中心

該電氣控制由電氣組件單元及液晶觸摸屏顯示操作界面組成,該界面全面顯示該清洗系統各項技術參數及系統功能。

5.1.6 系統清洗設備由不銹鋼管路、泵、球閥、循環過濾、加熱裝置等機體組件裝置。配可視全封閉及排風系統,可視移門、報警系統。

5.2 主要技術參數:


5.2.1 主機外型尺寸: 3800×1700×2300mm

整機占地約:4500×3000mm

5.2.2 超聲波功率: 2KW ×

5.2.3 超聲波頻率: 40KHZ

5.2.4 循環泵功率: 2×55W

5.2.5 機械臂橫移電機:1/2HP

5.2.6 機械臂升降電機功率:1HP

5.2.7 額定加熱電功率: 約18KW

5.2.8 整機額定電功率25KW

5.2.9. 電源: 380VAC±10%, 3p4w, 50HZ.

6. 清洗過程概述:全過程用可編過程控制器(PLC)控制。

6.1 人工裝籃,放在上料滾道上,送到設備上料區內,檢籃裝置是(由光電或接近開關檢測)發出有籃信號。

6.2 PLC接到信號,機械臂橫移至上料滾道上,下降吊起洗籃送入超聲波清洗槽內依次進行清洗;

6.3 機械臂升起(工件留在槽中進行清洗不少于10分鐘),橫移至最后一槽位置,下降吊起洗籃送入下料臺上并聲光報警,作業員在下料臺將清洗完成的產品取出。

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